巴鲁夫为了能在高真空、超高真空和超高纯真空中直接使用,为此巴鲁夫研发提供具有密封功能的拧入式规格以及适合安装在高真空中的高精度光电传感器。这时信号通过“直通”解决方案通过电导线的电缆套管从真空腔中引出。
真空腔上通过壳体通道的有无检查,在极端严苛的环境下时也能可靠识别晶片。
巴鲁夫的光电传感器BOH甚至能够通过真空腔上狭窄的壳体通道可靠检查晶片的有无情况。它们具有带小光点的微型透镜。可按照个性化设计规定实现密封功能。
BOH光电传感器的亮点:带小光点的微型透镜;具有密封功能的坚固不锈钢壳体符合个性化设计规定;适合低至1x10-9 mbar的真空应用;配备外部放大器,远程校准简单。